“这些p技术也要交给我们俩弄吗”
今天得到信息量太大了。两🕠个年轻人很🅩有种目不暇接的感觉。
多重图案技术，一听就明白，也就⚍🐈♝敢🇧🚺照亮照亮。但是p技术，涉及的就是就是真刀真枪了。
机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单🖝的。
他们两个与成🕗永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠。
“这几个技术，我会交给其🕠他人进⚍🐈♝行研🅩发。”
这个p技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是😨一个公开的技术。现在就是比，谁🏛先采用了。早采用，早受益。它完全可以光明正大的🞖🔆搞起来。
这也是🎭🔔为什么这个技术，🐗⛫被叫做🝏真1微米的原因。
p技术🎭🔔摆在前台做👸🍤幌子，多重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不⛝足。
另外，术业🏞🛍🛉有专攻。只⛠🛵♅靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实。
赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起🎲来。那么就让他👘🅮们继续走下去吧。
这些🁜🆬技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的。
引入第三方力量，就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用，主要🅩还🚒💰🕤是幌子。
“我们现在干什么”
“第一步还是先来👸🍤验证概念，另外要试验一下，看e🎡💬e和sap这两条路，哪一条更容易实现，难度最低。”
多重图🎭🔔案技术法，有两条实🕠现路线。一条是ee，另一🄚♱🌍条是sap
e⚎🐓⛅e是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精💡细的图案。
sap是通🏞🛍🛉过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积deposi⛝tion在核心图案两侧形成侧墙sidewa，最后通过刻蚀和修剪曝光来实现所要的图形。